定期检查手动探针台：保障性能稳定的秘诀

来源：艾博纳微纳米科技（江苏）有限责任公司 2025年04月18日 13:05

　　手动探针台是半导体测试、微电子研究和MEMS器件测量中重要的设备，其精度和稳定性直接影响测试数据的可靠性。然而，长期使用或不当操作可能导致探针台性能下降，影响测试结果。因此，定期检查与维护是确保其长期稳定运行的关键。

　　1.为什么要定期检查手动探针台？

　　手动探针台的核心功能是精确定位和稳定接触被测样品（如晶圆、芯片或MEMS器件）。如果探针台出现机械磨损、探针氧化、平台偏移或电气接触不良等问题，可能导致：

　　-测试数据漂移，影响实验可重复性

　　-探针损坏，增加更换成本

　　-样品损伤，如划伤晶圆表面

　　-设备寿命缩短，维修成本上升

　　通过定期检查，可以及时发现并解决潜在问题，确保设备始终处于最佳状态。

　　2.定期检查的关键项目

　　（1）机械结构检查

　　-平台平整度：使用水平仪检查载物台是否平整，避免因倾斜导致探针接触不良。

　　-移动滑轨与螺杆：检查X/Y/Z轴移动是否顺畅，有无卡顿或松动，必要时清洁并润滑导轨。

　　-探针臂与夹具：确保探针夹持稳固，无松动或偏移，避免测试时探针滑动。

　　（2）探针状态检查

　　-探针清洁：使用无尘布和酒精清洁探针，避免氧化或污染影响导电性。

　　-探针磨损：在显微镜下观察探针是否磨损、弯曲或断裂，必要时更换新探针。

　　-接触电阻测试：用万用表测量探针接触电阻，确保其符合测试要求（通常应低于1Ω）。

　　（3）电气性能检查

　　-接地与屏蔽：检查探针台接地是否良好，避免电磁干扰影响测试信号。

　　-信号线连接：确保所有电缆连接稳固，无老化或接触不良现象。

　　-显微镜照明系统：检查LED光源是否正常，避免因光线不足导致定位误差。

　　（4）校准验证

　　-平台归零校准：定期进行机械零点校准，确保探针定位准确。

　　-探针接触力测试：使用测力计检查探针压力是否在推荐范围内（通常10-50mN），避免过大压力损坏样品。

　　3.日常维护建议

　　除了定期检查，日常维护同样重要：

　　-使用后清洁：每次测试后，用无尘布清理载物台和探针，防止灰尘或碎屑堆积。

　　-避免过度用力：手动调节时轻柔操作，防止机械结构受损。

　　-存放环境控制：探针台应放置在温度、湿度稳定的环境中，避免高温、潮湿或强磁场干扰。

　　-定期润滑：每3-6个月对导轨和螺杆涂抹专用润滑脂，保持移动顺滑。

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