飞纳台式电镜能谱一体机的主要组成部分

来源：复纳科学仪器（上海）有限公司 2025年04月17日 14:37

　　飞纳台式电镜能谱一体机是一种分析仪器，它将扫描电子显微镜(SEM)与能量色散X射线光谱仪(EDS)集成在一起，能够在微观尺度上对材料进行形貌观察和成分分析。

　　1.扫描电子显微镜(SEM)：利用聚焦的电子束扫描样品表面，激发样品表面产生二次电子、背散射电子等信号，通过探测器收集这些信号并转换为图像，从而获得样品表面的形貌信息。电子束斑越小，分辨率越高，能够观察到更细微的表面细节。

　　2.能量色散X射线光谱仪(EDS)：当高能电子束或X射线激发样品中的元素时，元素会发射出具有特定能量的X射线。EDS通过探测这些X射线的能量和波长，来确定样品中所含元素的种类和含量。不同元素发射的X射线具有特定的能量，因此可以通过测量X射线的能量来识别元素。

　　飞纳台式电镜能谱一体机的主要组成部分：

　　1.电子光学系统：包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈等。电子枪用于产生电子束，电磁透镜用于聚焦和控制电子束的直径，扫描线圈则使电子束在样品表面进行光栅状扫描。

　　2.真空系统：为了确保电子束在传输过程中不会受到气体分子的散射和吸收，需要维持一定的真空度。真空系统通常包括机械泵、分子泵等。

　　3.样品室：用于放置和固定样品，通常具有可调节的舞台位置和放大倍数，以便观察不同区域和大小的样品。

　　4.探测系统：包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线探测器等。这些探测器用于收集从样品表面发射的各种信号，并将其转换为电信号进行处理和分析。

　　5.控制系统：用于控制仪器的操作参数，如加速电压、电子束电流、工作距离等。通常配备有计算机控制系统，可以方便地进行参数设置、图像采集和数据处理。

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