原装现货Lintec 琳得科MC-3102L-TC高温质量流量控制器

原装现货Lintec 琳得科MC-3102L-TC高温质量流量控制器

原装现货Lintec 琳得科MC-3102L-TC高温质量流量控制器

高温质量流量控制器，可用于流量控制为 120°C、断电时最高 150°C 的环境。 通过将高温气体接触部分与热敏基板部分分离，可以控制高温下的气体。 块体采用 SUS-316L，密封材料采用 Au 处理腐蚀性气体。 此外，还可以选择防止液化气体再液化的低压差规格和加热气体部件的 MFC 专用加热块。 工作温度：最高 120°C 金属密封件 清洁（保证颗粒） RS-485 通信 选择 与液化气兼容 加热块 使用示例 液化气、升华气体流量控制 CVD 和 ALD 源气体不一定是室温和压力下的气体。 液体或固体原料通常在室温和压力下使用。 液体和固体在室温下产生的气体较少，并且使用压差流动气体的 MFC 难以控制流速。 因此，原料罐被加热并增加蒸汽压以产生压差，以确保 MFC 的工作压力。 MC-3000L-TC 能够进行高温控制和低压差工作压力，是液化和升华气体流量控制的理想选择。