无尘无氧烤箱技术原理与关键设计

来源：上海旦顺实业有限公司 2025年03月17日 09:18

　　无尘无氧烤箱是一种专为高洁净度、低氧环境需求设计的工业设备，主要应用于需要避免氧化、污染或化学反应的精密制造和科研领域。

　　1. 技术原理与关键设计

　　无尘控制

　　通过多级高效空气过滤系统(如HEPA过滤器)和正压环境设计，阻止外部灰尘进入。内部循环风经多次过滤，确保洁净度达到Class 100甚至更高(每立方英尺空气中粒径≥0.5μm的粒子≤100个)。

　　无氧控制

　　采用惰性气体(如氮气、氩气)置换技术，通过气体循环系统排出氧气，使氧浓度降至1%以下甚至更低。部分设备支持动态调节氧含量，适应不同工艺需求。

　　温度均匀性

　　通过热风循环、导流板设计或真空环境实现精准控温(±1℃以内)，避免局部温差导致产品缺陷。

　　2. 关键参数选型要点

　　洁净度等级：根据需求选择ISO Class 5-8(对应粒径0.1-5μm的粒子控制)。

　　氧浓度范围：从ppm级(如<10ppm)到百分比级(如<0.1%)。

　　温度范围：常温至高温(如RT+10℃~500℃)。

　　气体接口：是否支持氮气/氩气快速接头，气体消耗量估算。

　　自动化功能：氧浓度实时监控、数据记录、报警系统。

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