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自动椭圆偏振测厚仪(Ellipsometer)是一种用于测量薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的仪器。它通过利用材料的光学特性，能够准确地测定这些参数，且由于测量过程不需要与样品直接接触，不会对材料表面造成损坏，也不需要真空环境，因此具有简便、快捷且易于实现的特点。
当一束具有已知偏振状态的激光照射到薄膜表面时，光束在薄膜界面发生折射和反射等作用，导致出射光的偏振状态发生变化，由线性偏振态变为椭圆偏振态。由于偏振状态的变化与薄膜的厚度、材料折射率等相关，因此通过测量出射光偏振态的变化，可以通过反演计算获得薄膜的厚度和光学常数。
使用自动椭圆偏振测厚仪时，通常需要将仪器安放在稳定的工作台上，并进行光路调整和仪器校正。然后，将待测样品放置在样品台上，调整样品的位置和角度以确保反射光能够准确地射入探测器。接下来，启动仪器进行测量，并等待数据处理系统输出测量结果。
技术特点：
非接触无损检测：仪器通过测量光在介质表面反射前后的偏振态变化来获取信息，无需与样品直接接触，因此不会对样品造成损伤。
高精度测量：仪器采用高精度的光学系统和数据处理算法，能够实现薄膜厚度的准确测量。
测量范围广：适用于不同厚度和光学特性的薄膜材料测量。
易于操作：仪器具有友好的用户界面和操作流程，使得用户能够轻松地进行测量和分析。
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