技术参数:
数值孔径是物镜性能的重要指标,决定了显微镜的分辨率。NA值越大,分辨率越高,但视场宽度和工作距离会相应减小。
分辨率是显微镜能够区分两个相邻点的能力,通常由NA和照明波长决定。
放大率:放大率由物镜和目镜的放大倍数决定,总放大倍率为物镜放大倍数与目镜放大倍数的乘积。
焦深是指在显微镜中,当焦点对准某一物体时,上下一定厚度内能清晰看到的范围。焦深与NA成反比,NA越大,焦深越浅。
工作距离是指物镜前端到工件表面的距离。数值孔径越大,工作距离越短。
等焦点距离是指物镜安装位置到工件表面的距离,用于实现最佳聚焦。
按测量原理分类:光学显微镜:利用可见光成像,适用于观察细胞、组织等生物样品。电子显微镜:利用电子束成像,适用于纳米级材料和科学领域的高分辨率测量。激光扫描共聚焦显微镜(LSM) :结合光学显微镜和激光扫描技术,提供三维成像能力。
按用途分类:
工业显微镜:用于工业检测和质量控制。
数码显微镜:通过摄像头采集图像,适合制造业和科研领域。
金相显微镜:用于观察金属表面结构和微观缺陷。
三维测量显微镜:结合光学显微镜和先进测量技术,适用于精密测量。
按结构分类:
倒置显微镜:适用于培养皿中的细胞观察。
正立显微镜:适用于固定样品的观察。
万能工具显微镜:结合光栅测量原理,实现自动记数和测量。
按测量功能分类
长度测量显微镜:用于测量线性尺寸。
角度测量显微镜:用于测量角度。
表面粗糙度测量显微镜:用于测量表面粗糙度。
应用领域:
测量显微镜广泛应用于生物医学、纳米技术、材料科学、半导体工业等领域。例如:在生物医学领域,用于观察细胞结构和组织切片。在材料科学领域,用于分析材料表面和微观结构。在半导体工业中,用于检测芯片上的微小缺陷。
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