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扫描电镜（ScanningElectronMicroscope，SEM）是一种高分辨率的电子显微镜，广泛应用于材料科学、生物学、地质学等多个领域。其工作原理基于电子与物质间的相互作用，通过发射电子束并使其在样品表面扫描，从而激发样品产生各种物理信号，这些信号再被收集、放大并转换成图像。
在工作时，扫描电镜的电子枪发射出电子束，这些电子在加速电压的作用下，经过电磁透镜聚焦成细小的束斑。随后，电子束在扫描线圈的作用下，按一定规律在样品表面进行扫描。当电子束照射到样品表面时，会与样品中的原子发生相互作用，激发出二次电子、背散射电子等信号。这些信号被相应的探测器接收，并经过放大处理后，最终转换成图像显示在屏幕上。
结构组成方面，扫描电镜主要由电子光学系统、扫描系统、信号收集系统、图像显示和记录系统、真空系统以及电源系统六大部分组成。其中，电子光学系统负责产生和聚焦电子束；扫描系统控制电子束在样品表面的扫描；信号收集系统接收并放大样品激发出的信号；图像显示和记录系统将放大后的信号转换成图像并记录下来；真空系统确保镜筒和样品室中的高真空环境，以避免电子束与气体分子发生碰撞；电源系统为整个仪器提供所需的电力。
综上所述，扫描电镜凭借其的工作原理和精细的结构组成，在微观世界的探索中发挥着不可替代的作用。
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