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高纯器分析仪主要基于光电子发射原理，利用高分辨率电子能谱技术来研究材料表面的电子状态。当一个光子击中样品时，会产生光电子释放出来，这些光电子的能量和数量可以表征样品表面的电子结构。此外，还采用了阳离子大气压离子化质谱仪(API-MS)技术，该技术通过电晕放电产生电子流，电子与离子源中的样气发生反应，导致样气气体分子的电离。由于污染物分子在样气中浓度很低，它们需要很少的能量就可以产生电离，因此与样气离子发生反应的几率非常高。这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，形成再次电离，导致非常高比例的污染物气体分子被电离。电离的污染物经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪进行准确测量。
高纯器分析仪特点：
高分辨率和灵敏度：具有非常高的分辨率和灵敏度，能够准确检测到不同元素的电子能级和微小浓度的污染物。其能量分辨率通常达到10 meV或以下，空间分辨率可达到亚微米级别，测量下限可达到ppt级别。
快速响应：高纯器分析仪具有快速在线测量的能力，典型测量时间小于5秒，能够立即响应供气的波动状况，满足实时监测的需求。
多分析器集成：集成了多分析器分析方案，提供了污染物的快速检测能力，同时支持多流路分析，提高了分析效率和准确性。
备份能力：在单个大气压离子化分析器(API)在维护时，允许每一台大气压离子化质谱仪(APIMS)支持多流路分析，确保了分析的连续性和可靠性。
工业通讯协议支持：支持多种标准化工业通讯协议(如OPC、DDE、Modbus、Siemens 3964R、PROFIBUS等)，方便与工厂控制和数据集中系统进行集成和通信。
安全性高：部分高纯器分析仪配置有氢安全系统，能够在氢气泄漏时安全关闭质谱仪，确保操作安全。
智能化和自动化：高纯器分析仪通常采用智能化的控制系统和自动化的操作流程，能够自动校准、自动切换流路、自动采集和分析数据，降低了操作难度和人工误差。
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