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FIB双束扫描电镜是一种结合了聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)的高精度微纳加工和分析设备，在试验时可通过转动试样台使试样表面与电子束或者离子束垂直，从而达到对电子束进行实时观测和对离子束进行切割或者微加工等效果。
应用优势：
1、高精度加工：FIB技术可以在不破坏样品整体结构的情况下，制备出高质量的截面样品，适用于多层互连结构和微小缺陷的分析。
2、实时成像监控：SEM可以对样品表面进行实时成像，帮助分析师快速准确地找到异常区域，定位问题区域。
3、操作灵活性高：FIB双束扫描电镜不仅可以处理各种类型的材料(包括导体、绝缘体和半导体)，还能适应不同的工作环境。
4、多功能性：除了基本的加工和成像功能外，还可以用于制造特定的测试结构以便进一步的电学性能测试。
本公司提供的Scios 2 DualBeam FIB双束扫描电镜可快速轻松的定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。系统配备Thermo Scientific Auto Slice&View软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息。无论是在STEM模式下以30kV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，系统可在广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。
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