高真空热蒸发镀碳仪操作步骤涉及多个环节

来源：北京格微仪器有限公司 2024年12月25日 10:05

　　高真空热蒸发镀碳仪是一种用于在高真空环境下通过加热蒸发固态碳源，使其沉积到工件表面形成均匀、致密碳膜的设备。其操作步骤涉及多个环节，包括设备准备、蒸发过程控制以及后续处理等。以下是详细的操作步骤：

　　1.准备工作

　　环境准备：进入房间前换拖鞋，穿上防尘服。打开房间总电源，照明和插座的电源，并开启排气扇。同时，打开镀膜间后面的电源和水源。

　　基板整理：整理好基板，以减少真空室在大气压状态下的时间，有利于机械泵和分子泵抽真空。

　　设备检查：打开镀膜机的电源，检查真空检测显示是否正常，观察是高真空还是低真空状态。

　　2.安装与调整蒸发源

　　选择蒸发头：根据蒸镀材料的不同，选择合适的蒸发头（金属蒸盒或碳棒蒸发头）。使用碳棒蒸发头时，需将一个电极线连接至仪器后面的黑色孔，另一个电极线连接至红色孔。

　　安装碳棒，安装蒸发头：将碳蒸发头装在仪器上盖上，插好电线，打开氮气钢瓶的开关，流量控制在0.035Mpa左右。

　　3.放置样品

　　将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。对于金属蒸镀，还需将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。

　　4.抽真空

　　开放气阀，直到真空室门自动打开。关闭放气阀，以免遗忘。

　　将蒸发源安装在电极上，取出衬底托，将衬底安放在衬底托上，当好挡板。

　　检验石英振荡器是否正常，观察膜厚仪表上对应的绿色指示灯是否亮着。

　　把调压器界面的旋钮由停旋至蒸发1档，调节蒸发电流，看电流表的示数是否显示正常。

　　将旋钮调至机械泵—分子泵档，打开热偶规至V2测量档，开启机械泵，拉出低阀，间隔2分钟左右推进低阀，如此反复两三次，待热偶规表示数达到10Pa时，推进低阀，打开高阀，打开分子泵电源，开启分子泵。

　　5.高真空热蒸发镀碳仪蒸发过程

　　在高真空状态下，通过电阻加热或电子束加热的方式，将固态碳源加热至蒸发温度，转化为气态。这些气态的碳原子或分子在真空腔室内自由扩散，遇到温度较低的工件表面时重新凝结成固态，逐渐形成一层碳膜。

　　6.结束与清理

　　蒸镀完毕后，按STOP键停止抽真空，打开盖子取出样品，最后关闭主机电源盒气源。

　　实验结束后取出样品，长时间使用时需根据实际情况及时清洗腔室。清洗时注意不要使用有机试剂如丙酮、乙醇等老化胶圈，避免有试剂沾到老化圈上引起胶圈溶解。

　　7.安全注意事项

　　在整个操作过程中，要严格遵守实验室安全规程，确保人员和设备的安全。

　　特别注意在抽真空和加热过程中的操作细节，避免对设备造成损坏或影响实验结果。

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