超快激光微纳加工中心不仅拥有纳米级3D加工能力,还配备了双波长飞秒激光输出,可加工更广泛的材料。可对玻璃、光纤、晶体内部和表面进行改性或刻蚀,也可对金属、合金、陶瓷等硬质材料进行微米级精度的处理,包括打孔、表面结构处理、选择性激光消融、改性等多种功能。
MJ-Works同样拥有高精度、超高速度的特点,并且可进行大幅面加工、全自动操控、长时稳定性、简单直观的软件操作以及适配多种材料的特点,适用于微纳光学、生物医学、半导体、光通信等行业的微纳加工领域。
主要特点:
双波长飞秒激光系统,适配多种加工材料,实现增减材加工。
高能飞秒激光脉冲,材料表面减材或内部改性+复杂的3D结构。
光学自稳定,加工面自动平整,自动聚焦和自动跟踪功能。
光斑调制功能,预留多种光斑模式。
线宽≤100nm,表面粗糙度≤10nm。
可配备自研的超高速加工模块。
大幅面、大体积加工。
激光能量稳定系统。
高精度恒温控制系统。
多焦点模式,提高加工效率。
纳米级高精度位置识别与对准。
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