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磁控离子溅射仪的工作原理与技术优势概述如下：
工作原理
磁控离子溅射仪的工作原理基于电场与磁场的相互作用。在电场的作用下，电子加速飞向基片，途中与氩原子碰撞，使其电离产生Ar正离子和新的电子。Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。溅射出的中性靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。同时，产生的二次电子在电场和磁场的作用下产生E×B漂移，被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并在该区域中电离出大量的Ar来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。
技术优势
沉积速率高：由于离子能量高，且在磁场的作用下，离子束密度较高，因此沉积速率较快，提高了制备效率和材料性能。
基体温度低：溅射产生的二次电子被束缚在靶材附近，轰击正极衬底的电子少，传递的能量少，使得基体温度较低，减少了热损伤和热变形的风险。
可控制性强：磁控离子溅射技术可以通过调整工艺参数（如电压、电流、磁场强度等）实现对涂层和薄膜的成分、结构和性能的控制，有利于实现材料的精密加工和定制化生产。
应用范围广：磁控离子溅射仪可以制备各种功能薄膜和材料，如超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜等，具有广泛的应用前景和潜力。
综上所述，磁控离子溅射仪以其的工作原理和显著的技术优势，在材料科学、微电子学、光学等领域发挥着重要作用。
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