光刻烤胶机的使用方法

来源：深圳市博大精科生物科技有限公司 2024年10月15日 13:28

　　光刻烤胶机可长时间持续稳定工作，适用于各种光刻工艺需求，确保烘胶效果和质量。其紧凑的外形设计和触摸屏参数设置使操作方便，是实验室和制程工作的可靠选择。

　　光刻烤胶机的操作步骤：

　　1、检查烤胶机的温度控制系统是否正常，包括加热板的温度均匀性和稳定性。确认设备的通风和排气系统是否畅通，以防止有害气体的积聚。

　　2、对涂有感光胶的硅片进行视觉检查，排除表面有明显的污渍或损伤。将硅片放置在烤胶机的加热板上，注意要轻放以避免造成胶层的不均匀或气泡的产生。确保硅片与加热板的良好接触，以保证热量能够均匀传递。

　　3、温度控制是烤胶过程中的关键。前烘的温度设置在较低的水平，目的是慢慢驱除胶层中的溶剂，避免溶剂过快蒸发导致胶层出现针孔或裂纹。后烘的温度则需要根据感光胶的型号和特性来设定，通常比前烘的温度要高，以确保曝光后的图案能够固定下来。烤胶时间需要根据胶层的厚度和所需的固化程度来设定。

　　4、烤胶完成后，小心地将硅片从烤胶机上取下，并对其进行冷却处理。冷却后的硅片可以进行后续的光刻曝光和显影处理。

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