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ULVAC爱发科真空泵 - 选型指南
罗列出了各种泵的应用，功能和性能。请根据您的使用目的进行选择。
要选择真空泵，首先要估算所需的泵速，然后从适合该应用的类型中选择一个泵。
大型干式真空泵
爱发科的干式真空泵具有从适用于研究、开发、生产用途的硬工艺类型到轻工艺类型，广泛的产品阵容。
您可以根据目的，用途和应用进行选择。
推荐的真空泵根据要降低多少压力以及在真空室中要做什么而有所不同。
真空泵的大小也会根据所要创建的真空空间的大小而变化。
油回转真空泵（大型）
爱发科的油回转真空泵根据不同的用途具有广泛的产品阵容。
可以根据目的，用途和应用进行选择。
油回转真空泵 VD 系列
油回转真空泵 VS 系列
油回转真空泵 PVD 系列
油回转真空泵 PKS 系列
油回转真空泵 VS 系列
油旋片式真空泵（小型）
下面200L/min以下的小型油旋片真空泵是No1的ULVAC机工制造。
根据减压到多少，在真空槽中想做什么，真空泵随其变化。
显示真空泵所产生的压力。另外，根据想要的真空空间的大小，真空泵的体积也会随之而变化。
在某种程度上可以进行排气计算，详情请向本公司咨询。
小型油旋片真空泵 GHD/GLD・GLS 系列
小型油旋片真空泵 GCD 系列
机械增压泵
爱发科机械增压泵，产品种类广泛，可运用于多种多样用途。
涡轮分子泵
数值为型号选择的参考值。
溅射离子泵
溅射离子泵是用于产生超高真空的典型泵之一。
离子真空泵具有简单的工作原理，将电场施加到由阳极和阴极组成的泵单元上，因此在不产生机械振动和噪音下可以获得超高真空。
此外，还广泛用于分析仪器，加速器等，并且无油，因此安装方法可以选择。
爱发科通过开发在超高真空范围内具有增强排气特性的新型素子（Acter素子）并优化了磁场，开发了"Acter泵PST系列"。
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