ceratech真空吸盘（多孔吸盘）产品介绍

来源：秋山科技（东莞）有限公司 2024年08月13日 16:03

ceratech真空吸盘（多孔吸盘）产品介绍

制造方法提高了多孔部分和基部之间的粘合性，并且即使在边界处也形成了足够平坦的表面。
因此，可以在晶片减薄工艺和需要大型基板的全表面吸附的制造工艺中提供高生产率和可靠性。
多孔体可以根据用户需求灵活选择材料和孔径。
还可以在陶瓷底座中设置中空凹槽以用于冷却目的。

　*根据用途也可提供表面涂层。（脱模涂层、导电涂层等）

特性表

	型号	密度g/ cm3	弹性模量GPa	弯曲强度MPa	热膨胀系数×10 -6 /K	导热系数W/m・K	电阻值Ω·cm
氧化铝	A995	3.9	380	450	7.3	30	>10 14
多孔氧化铝	-	2.5	55	50	7.4	-	10 11
碳化硅	标准品	3.1	410	500	4.6	170	10 6
多孔碳化硅	-	2.1	55	50	4.7	-	10 6

　通过对多孔体施加负压来吸附并固定被吸附物。

　陶瓷内部形成中空结构，因此无需担心泄漏。

凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。