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可测量残留气体成分的真空计SC-10的特点
・通过监测残留气体成分，可以监控真空设备的健康状况并立即发现异常情况。
・用一台装置即可测量真空度（总压）和气体成分（分压）。
SC-10智能真空计是我公司研发的一款全新的自动真空计，既可以测量残余气体成分，也可以测量全压真空。
总压真空范围从大气压到10-7Pa的超高真空，当总压达到约50Pa时，气体成分的分压自动开始，从而可以测量约10-5Pa到10-6Pa。 。
可以在粗略压力范围内测量气体成分并检查是否有泄漏，而这对于传统气体分析仪来说是不可能的。
智能真空计可以测量残留气体的成分，因此即使在抽气过程中，您也可以快速检查真空设备的健康状况，例如泄漏和水蒸气脱气。下面的两张图显示了同一装置的不同排气数据，在图1中，显示了正常排气，水蒸气是主要成分并决定了总压力真空，而在图2中，氮气由于泄漏而停止。向下排气开始后约5分钟，如果继续排气约10分钟，则氮气的量变得多于水蒸气，并且总压和真空度的降低停止。通过使用智能真空计，您可以快速发现仅通过监测总压力和真空度无法检测到的排气异常及其原因。
图1
图2
智能真空计不仅可以让您知道是否存在泄漏，还可以喷射氦气或氩气来定位泄漏位置。图3显示了在泄漏位置喷射氩气时智能真空计的数据，氩气增加而氮气减少表明存在泄漏。泄漏停止后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，成为典型真空装置的残余气体成分。
图3
图4
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