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皮拉尼真空计的应用

来源:深圳市京都玉崎电子有限公司   2024年05月24日 11:01  

皮拉尼真空计用于需要真空达到控制的腔室、连接到石英管的流体回路以及需要表面清洁度的地方。具体来说,它常用于中真空区域的测量。

中真空区域是使用油回转真空泵可以达到的真空状态,例如测量碳氟化合物气体的吸入量时。皮拉尼真空计常用于高真空至超高真空抽气系统的粗抽生产线以及高真空泵的背压生产线。

然而,显示值根据气体的类型和成分而变化,因此需要提前进行充分的校准来测量绝对压力。皮拉尼真空计还用于在物理和化学实验、真空蒸发、冷冻干燥、医疗设备、分析仪、激光应用设备、真空排气设备、半导体制造设备的等离子蚀刻空间以及电子显微镜的真空包中创造真空条件


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