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尼康干涉物镜10X/20X/50X应用

来源:北京荣兴光恒科技有限公司   2024年05月22日 21:49  

尼康干涉物镜10X/20X/50X应用

用于半导体

精密仪器

电子和航空等领域

尼康CF PLan 50X DI参数

数值孔径 0.55

工作距离(mm3.4

焦距(mm4

分辨率(μm0.5

景深(μm0.9

视场(mm) 目镜,直径25视场 0.5

目镜,直径20视场0.4

2/3"传感器 (H x V) 0.18 x 0.13

½"传感器 (H x V) 0.13 x 0.10

其它 可调干涉物镜



物镜是显微镜最重要的光学部件,利用光线使被检物体第一次成像,因而直接关系和影响着成像的质量和各项光学技术参数,是衡量是台显微镜质量的首要标准。

物镜的结构复杂,制作精密,由于对像差原校正,在金属的物镜筒内由相隔一定距离并被固定的透镜组组合而成。每组透镜又由不同的材料、不同参数的一至数块透镜胶合在一起。物镜最前面的透镜称“前透镜”,最后面的透镜称“后透镜”,物镜复合透镜组的总焦距为物镜的焦距。物镜前透镜与被检物体之间的距离为工作距离(自由工作距离)。在高倍镜检时,为了防止物镜与制片的相触、压碎玻片和损伤镜头,除物镜的先端有弹簧装置外,还应使整套物镜由低倍至高倍必须齐焦。

齐焦即是在镜检时,当用某一倍率的物镜观察图象清晰后,在转换另一倍率的物镜时,其成象亦应基本清晰,而且象的中心偏离也应在一定允许的范围内,也就是合轴程度。齐焦性能的优劣和合轴程度的高低是显微镜质量的一个重要标志,它是与物镜的本身质量和物镜转换器的精度有关。优质的显微镜都是合轴、齐焦的。

物镜种类很多,可从不同的角度来进行分类,现分别述之。

根据物镜前透镜与盖玻片之间的介质不同,可分为:

(一) 系物镜:镜检时,物镜前透镜与盖玻片之间是以空气(η=1)为介质的。这类物镜最为常用,如40X以下的物镜,数值孔径值均小于1

(二) 水浸系物镜:镜检时,物镜前透镜与盖玻片之间是以水(η=1.333)为介质的。水为蒸馏水,这类物镜目前很少应用。

(三) 油浸系物镜:即油镜头,其放大率为90-100X。镜检时,物镜前透镜与盖玻片之间常以香柏油、无荧光油(η=1.515左右)为介质的。此外,有时还用甘油(η=1.450)、石蜡(η=1.471)为介质。该类物镜的外壳上常标刻有oil”IL”或“HI”字样。

上述水浸与油浸系物镜所应用的介质均为液体物质,所以又称为“浸液系物镜”,数值孔径值可大于1

油镜在使用后必须立即擦拭,不能久置,否则将有损镜头使解象力下降,而且浸油在干涸后也不易擦拭。擦拭是脱脂棉球蘸少量的洒精混合液轻轻擦去浸油,再用脱脂棉球或镜头纸轻擦一次。

根据物镜放大率的高低,原则上可分为:

(一) 低倍物镜:1X-6XNA0.04-0.15

(二) 中倍物镜:6X-25XNA0.15-0.40

(三) 高倍物镜:25X-63XNA0.35-0.95

(四) 油浸物镜:90X-100X;NA1.25-1.40

   根据物镜象差校正的程度来进行分类,这对我们使用者来说,是应于了解的一个分类方法,现分述于下:

(一) 消色差物镜(Achromatic objective):这是常见的物镜,外壳上常有Ach“字样,

其结构比较简单,由两片透镜胶合和两片以上透镜组成。

这类物镜仅能校正轴上点的位置色差和球差以及消除近轴点慧差。由于玻璃材料等原

因,不能校正其它色光的色差和球差,而且场曲很大,故不能应用于高级研究的镜检和显微照相。镜检时,通常与惠更斯目镜配合使用。

(二) 复消色差物镜(Apochromatic objective):复消色差物镜的结构复杂,透镜采用

了特种玻璃或荧石、氟石等材料制作而成,物镜的外壳上标有APO”字样。这种物镜不仅能校正红、绿、蓝天三色光的色差,而且在同一焦点平面上造象,达到消除“剩余色差“(又称二级光谱)的效果,同时能较好地校正红、蓝二色光的球差。由于对各种象差的校正极为完善,比相应倍率的消色差物镜有更大的数值孔径,这样不仅分辨率高、象质优,而且也有更高的有效放大率。因此,复消然差物镜的性能很高,适用于高级研究镜检和显微照相之用。镜检时应与补尝目镜配合使用,否则图象质量下隆。

(三) 半复消色差物镜(Semi apochromatic objective):半复消色差物镜又名氟石物镜

物镜的外壳上常标有FL”字样。在结构上透镜的数目比消色差物镜多,比复消色差物镜少;在成象质量上,远较消色差物镜为好,接近于复消色差物镜,能校正红、蓝二色光的色差及球差。镜检时也应与补偿目镜配合使用。

(四) 平场物镜(Plan objective):平场物镜是在物镜透镜系统中增加一块半月形的厚

透镜,以达到校正场曲的缺陷。平场物镜的结构较为复杂,尤以高倍平场物镜更为复杂。平场物镜的视场平坦、视场较大, 且工作距离也相应地有所增长。因此,更适用于镜检和显微照相之用。

   平场物镜有:平场消色差物镜在镜头的外壳上标有Plan Ach:平场复消色差物镜在镜头外壳上标有Plan APO以及平场半复消色差物镜,更为高级的为超平场物镜和超平场复消色差物镜。



 


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