日本进口YUTAKA半导体制造用压力控制设备自由式调节阀调节器L96系列绝压型

L96系列是专为半导体工艺制造气体设计的具有真空可调结构的产品。非常适合低蒸气压气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。

e-flow 高纯度气体压力调节器旨在用于半导体工厂，是一种提高纯度并最大限度地减少外部泄漏、颗粒和死区的产品。
它用于多种气体，包括半导体工厂设施的气瓶柜、连接装置、阀箱以及设备制造商的集成单元。
该产品具有优良的气密性，非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性的输送。L系列：对焊接头、外密封金属结构的产品。
R系列：阀体旋入式（NPT）规格、外部软密封结构的产品。焊接规范为承插焊。
D系列：将L、R系列与压力控制部分组合而成的先导结构电子控制压力调节器。
U系列：特殊规格有机加工主体、对焊规格，外部密封采用金属密封结构。

调节压力 -0.1MPa～0～0.2MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.07 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 5.739cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约1.6公斤