日本进口YUTAKA半导体用压力控制设备高纯度气体用调节器L20系列

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来源：深圳秋山工业设备有限公司 2024年05月07日 17:43

L20系列是专为高压半导体工艺制造气体而设计的产品。基本结构是外部金属密封和焊接接头，使其成为具有优异的外部泄漏和颗粒性能的产品。此外，我们还提供多种选择来容纳各种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。

功能高压

焊接规范金属垫片配件调节阀结构针型兼容气体7种特殊高压气体

腐蚀性气体有毒气体

以外的气体标准流量～60NL/分钟

入口压力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）

气源压力波动入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00021MPa

承受压力 22.2MPa（进口侧）

CV值 0.09

工作温度 -10~+40℃

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）

内部容积 4.67cm（不含3个压力表及接头）

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