多点无线温湿度实时监测-实时无线温度湿度记录仪

引言

芯片制造车间，又称半导体洁净室，是半导体芯片生产的核心场所。在这个高度洁净的环境中，各种生产设备、材料和工艺流程共同完成芯片从设计到成品的制造。车间的洁净度、温湿度等因素直接影响着芯片的质量和性能。本文将重点探讨芯片制造车间温湿度对芯片制造的影响及其控制技术。

温湿度对芯片制造的影响机制

1、温度影响：温度对芯片制造过程中的氧化、薄膜沉积、离子注入等工艺具有显著影响。温度过高或过低都会导致芯片制造过程中的杂质扩散和薄膜厚度分布不均，从而影响芯片的性能。

2、湿度影响：湿度对芯片制造过程中的氧化膜和薄膜材料的稳定性产生影响。高湿度会导致氧化膜吸水膨胀，降低其绝缘性能；低湿度会导致灰尘和颗粒物易于吸附在芯片表面，影响洁净度。

产品设计

298 zigBee 实时无线温度湿度记录仪是一款实时无线温湿度监测系统；您可以根据需要进行灵活配置，通过网关进行数据传输。

您需要选择合适的实时无线温度湿度记录仪。智测电子提供多种类型的监测探头和传感器，还可帮助您从容应对各种特殊应用。

实时无线温度湿度记录仪是利用Zigbee技术无线组网的温湿度监测系统，采用组网方式多点监测被测环境里的温湿度分布情况，并利用无线网关进行数据导出分析，实时绘制温度曲线，直观的监测环境实时温湿度变化。

实时无线温度湿度记录仪会将测量值通过网关上传数据，并进行存储和记录。您可以网页式监测软件访问。一旦出现超限值，系统会通过电子邮件向您发送警报。

实时无线温度湿度记录仪自动监测温度变化，您无需手动进行周期性的温度记录，ZUI大值、最小值和平均值的分析，所有的测量数据将通过无线网关自动数据导出，并自动存档。

多点无线温湿度实时监测-实时无线温度湿度记录仪

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