如何测量电阻率体积电阻率

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来源：深圳市京都玉崎电子有限公司 2024年04月11日 17:20

体积电阻率和表面电阻率

使用该电阻率校正系数，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]计算体积电阻率和表面电阻率。

体积电阻率（单位：Ω·cm）是单位体积的电阻，根据领域的不同，表达方式也不同，

例如材料领域的体积电阻率、电子领域的比电阻、物理领域的电阻率等。

特定于（科学年表中列出）的物理量，用作许多材料电导率的绝对量度。

另一方面，表面电阻率（单位：Ω/□、Ω/sq.，发音为欧姆每平方）是单位面积的电阻，

也称为方块电阻或简称为表面电阻，用于涂层、薄膜等。它用于领域应特别注意表面电阻，

因为它可能与使用[公式3.5.2]转换之前的电阻相混淆。

使用四点探针法的电阻率测量长期以来一直用于测量硅片，对于无限大（和无限薄）的样品已确定值为 4.532。

我们针对矩形和圆形样品确定了任意尺寸和测量位置的校正系数，并进行了实验验证。

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