适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。
不仅可以安装在新装置上,而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。
通过搭载UV-LED,可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命,并且不需要机械相关的消耗部件,从而大大降低客户的运行成本
紫外線発光源 | 紫外发光二极管 |
紫外線発光源寿命 | 20000小时(推定寿命驱动电流最大时)※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间 |
照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制(通过远程及手动控制点亮/熄灭) |
光量调整机能 | UV-LED的电流调整光量调整范围为20~100% |
外装材質 | 不锈钢 |
外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
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