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标准气体发生器是将渗透管或扩散管作为气体发生源来发生标准气体的装置。当渗透管和扩散保持在恒温状态时，单位时间和内渗透量和蒸发量是恒定的。所以，将这两种管子保护在恒温状态，将空气和氮气等稀释气体定量送入，就可连续发生微量浓度的标准气体。气体的浓度由该物质的单位时间的渗透速度(蒸发扩散速度)及稀释气体的流量等基础物理量决定，而一定规格的渗透管(扩散管)的渗透速度(蒸发扩散速度)可以用减重法得到:故这种方法具有很高的可信度。具体的装置如下图所示。
利用渗透管发生标准气体
渗透管是在特定质量的氟化树脂管内封入高纯度的液化气体所制成的，当保持在一定的温度下时，管内的液化气体将从管壁向外渗透，并且在单位时间内，其渗透的量保持不变。所以，只要保持一定的温度，并通入一定量的稀释气体，就可以获得一定浓度的校正用标准气体。由于可以通过渗透管重量的减少和稀释气体的流量来计算标准气体的浓度，所以这种方法的准确性很高。而且是动态的气体发生方法，可以发生氯气，硫化氢，氨等化学性质很活泼的气体。渗透管的种类很多(如下表所示)而且能发生多种稳定的标准气体，所以有着广泛的用途。渗透管法被日本的「恶臭防止法实施规则」以及厚生劳动省公布的「劳动环境指导方针」所认定。在美国也被NIST「美国国立标准技术研究所」和EPA「美国环境保护厅」作为标准法认定。
扩散管
适用于单一成分校准气体制备
多成分用扩散管
稀释剂等溶剂含有多种物质。以往的方法只能制备单一物质的校准气体，用多种成分用扩散管，可同时制备4种物质的校准气体。可提高分析工作的效率。
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