Precision RF Pulse Sensors 7037类别:半导体制程射频功率量测系统
简介:7037系列RF脉冲功率传感器拥有0.5%的测是精度,它为实验室和半导体Fab测试带来惊人的可追溯精度,在校准的频率下,精度为0.5%6,可用于测是RF脉冲波形内的门控功率。
7037系列
适用于半导体应用的精度为0.5%的精密脉冲功率传感器精-湛的准确性!
7037系列RF脉冲功率传感器为实验室和半导体fab环境带来惊人的可追溯精度。旨在为研发和工艺工程师提供易用性和可靠的数据在校准的频率下,这些传感器的精度为0.5%,可用于测量RF脉冲波形内的门控功率。校准可追溯到美国国家标准技术研究院(NIST),因此您可以对这些传感器提供的测量的质量和准确性充满信心。
产品特点
时域显示
多电平脉冲内多达4个状态的平均功率测量
在校准频率下,在整个动态范围内能够实现±0.5%的功率测量精度,
NIST可追溯校准
谐波滤波
外部同步输入
射频互锁(可选)
可通过SCPI命令集编程
优点:
通过射频发生器的校准和验证,这些高精度传感器使人们对射频发生器的输出充满信心。使用VPM3-MSP软件记录和分析来自实验配方的RF功率数据,以简化流程开发。现场过程监视允许在运行时实时监视过程以检测异常。RF脉冲波形的时域分析可以更仔细地观察高功率RF脉冲
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