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真空设备温度测试及腔室内高精度测温解决方案

来源:合肥智测电子有限公司   2024年02月05日 13:48  

真空设备温度测试及腔室内高精度测温解决方案


在高科技制造领域,如半导体、光电子、航天航空等行业,对于真空设备温度测试和腔室内温度的精准测量十分重要。如何确保真空腔内温度的准确性和稳定性,成为了许多企业的关注点。为了解决这一问题,我们引入了精密测温NTC传感器、真空贯通法兰、精密多通道测温仪和温度采集分析软件DAQ TEMP等**技术,构建了一个完善的腔室内高精度测温解决方案。

产品描述:

1、精密测温NTC传感器;

2、真空贯通法兰;

3、精密多通道测温仪;

4、温度采集分析软件DAQ TEMP

产品特点:

- 精密测温NTC传感器:

采用高精度NTC传感器,可实现对半导体光刻设备真空系统的精准测温。传感器敏感度高,响应时间短,稳定性优良,确保温度测量的准确性和可靠性。

- 真空贯通法兰:

采用真空贯通法兰,确保测温设备与真空系统之间的**封闭。法兰设计合理,安装简便,有效防止真空系统泄漏,提高测温仪器的稳定性和可靠性。

- 精密多通道测温仪:

多通道测温仪设计精细,可同时测量多个点位的温度。仪器具备高分辨率、高采样率、高精度等优势,可满足对光刻设备真空系统多个位置温度进行精密监测的需求。

- 温度采集分析软件DAQ TEMP

配备温度采集分析软件DAQ TEMP,可实时监测、采集、分析和记录温度数据。软件界面友好,操作简便,提供详细的温度曲线图、数据分析等功能,帮助用户更好地了解和掌握真空系统的温度变化。

目标人群:

本产品适用于半导体光刻设备制造厂商、研发机构以及相关的光刻设备维护和技术服务人员。它们可以利用本产品对光刻设备真空系统进行精密测温,有效提高设备的稳定性和可靠性,优化生产流程,提升产品质量。

通过半导体光刻设备真空系统精密测温产品,您将能够更准确地掌握光刻设备真空系统的温度变化,及时发现和解决温度异常问题,提高设备的工作效率和稳定性。选择我们的产品,您将获得高精度、高性能的测温解决方案,为您的光刻设备带来更大的价值。



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