用于半导体和硅的红外辐射温度计 IR-CAT 介绍
IR-CA系列是一款集成的固定式辐射温度计,配备数字温度显示、参数设置功能和测量值的外部输出。
共有低温型、中高温型、高性能型、超宽型等通用型以及按用途划分的17个型号,兼容多种非接触式测温字段。
半导体/硅片温度测量
可测量400℃至1200℃硅片温度的辐射温度计。采用使晶圆不透明的测量波长,减少加热器对背面的影响
其他特性
一体化结构,内置数字温度显示和参数设置功能,可通过主机操作
精度高、响应快、可靠性高
可选配通讯接口 RS-485 (MODBUS)
提供设置显示,用于 IR-CA 的远程监控和远程设置。
可通过RS-485通讯进行设置和显示。准备数据记录软件
可选配保护壳、水冷板等配件,以适应安装环境。
规格
模型 | 用于半导体/硅 |
---|---|
格式 | 红外猫 |
检测元件 | 硅 |
测量波长 | 0.6~0.96μm |
测量温度范围 | 400-800℃ (100) 500-1000℃ (200) 600-1200℃ (200) |
准确率评估 | 200℃以下:±2℃ 200℃以上:测量值的±1% |
再现性 | 0.5℃以内 |
解决 | 0.5℃ |
响应时间 | 0.04秒(95%) |
测量直径/测量距离 | 可移动焦点 测量距离:0.5m 至 ∞ 测量 直径 = 测量距离/距离系数 距离系数:100、200 |
瞄准 | 直接取景器 |
输出信号 | 4~20mA DC,隔离输出(无电阻500Ω以下) |
通讯接口 | RS-485(可选) |
电源 | 24V直流 |
能量消耗 | 最大10VA |
外形尺寸 | 宽150x高110x深66mm |
大量的 | 约1.3公斤 |
其他的 | 数据处理软件:IR-VXC1 |
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