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日本SEM坂本电机精密水准仪的应用

来源:池田屋实业(深圳)有限公司   2024年01月28日 19:17  

什么是精度等级?

精密水平仪用于检查制造过程中的水平度,例如需要高水平标准的精密设备。通过测量液体内部气泡的位置,精密水平仪的位置决定了液位的陡度。水平仪的精度由 JIS 标准严格定义。基本上,水平度是通过目视检查的,但也可以使用精密水平仪,通过传感器测量气泡的位置,并可以获得数字信号的倾斜度。

精密水准仪的应用

精密水准仪用于需要高精度的制造现场,例如精密仪器、半导体、显示器等的制造过程中。在机床和制造设备操作前或安装过程中使用。它们也可以安装在每项任务都需要高度平整的设备上。选择精度等级时,需要考虑测量精度、抗振性、是数字型还是模拟型、是否适合使用的环境、测量的难易程度、尺寸等。

精度等级原理

我们将解释精密水平仪的测量原理。精密水准仪由确保水平度的精确刻度容器和连接容器的精密外壳组成。该容器稍微弯曲并包含一定量的液体和气体。数字型的情况下,图像传感器内置于观察气泡的部分。

目视测量时,通过目视检查容器上刻度上气泡所在的位置来确定精密水准仪所在位置的斜率。如果是数字型,内置控制板通过处理从传感器获得的图像来计算倾斜度,并将其显示在显示器上。它还可以将倾斜度作为电信号传输到其他可连接设备,执行反馈控制,并充当传感器以保持水平度。由于其机制,在振动较大或高温的环境中可能无法正常工作,因此请小心。

精度等级类型

精密级的结构和精度由日本工业标准JIS确定。

精度等级根据灵敏度分为三种类型。根据 JIS 标准,水平仪的灵敏度分为三种类型:类型 1(0.02 毫米/米,约 4 秒)、类型 2(0.05 毫米/米,约 10 秒)和类型 3(0.1 毫米/米,约 10 秒)。 20 秒)。灵敏度是气泡移动一格所需的倾斜角度,灵敏度显示是基于相对于1米底座的高度。

例如,在类型1的情况下,用1个刻度每1米的底座检测到0.02mm的高度。当气泡使用300mm水平仪(类型1:灵敏度0.02mm/m)移动一个刻度时,水平仪一端到另一端有6μm的高度差。

灵敏度也以倾斜角度(秒)表示。一秒的角度为每米 4.85 μm。

  • 1 级 0.02mm/m = 角度 4 秒 = 0.00111°

  • 类型 2 0.05mm/m = 角度 10 秒 = 0.00277°

  • 类型 3 0.1mm/m = 角度 20 秒 = 0.0055°

精度等级等级

根据JIS标准,精度等级根据其性能(精度)分为A-级和B级。各性能的交集如下。准确度是测量仪器所表示的数值或测量结果的整体质量,包括准确度和精密度(变异程度小),是指测量中的变异程度。进行测量时,测量值为±精度,±精度中包含用于测量目的的真实值。

根据JIS,精度如下。

  • 全量程精度(1种):A-级±0.5刻度,B级±0.7刻度

  • 全量程精度(2级和3级):A-级±0.3刻度,B级±0.5刻度

  • 相邻精度(1级、2级、3级):A-级0.2级、B级0.5级

A-级和B级精度不同,精度值又分为1型、2型、3型、全量程精度、邻近精度。如精度等级类型中所述,类型 1、类型 2 和类型 3 是根据精度等级的灵敏度而有所不同。全量程精度是指精密水平仪在其整个量程范围内的精度。相邻精度是相邻刻度精度的规范。



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