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真空泵是一种广泛应用于半导体制造、化学、医药、食品和饮料等行业的设备。它的主要功能是产生并维持一个低压环境，以便于气体的抽取和处理。然而，像所有机械设备一样，ULVAC真空泵在使用过程中也可能会出现各种故障。
在整个钢液处置过程中，体系的真空度是跟着钢液的放气量的削减而不断升高的。在钢液处置前期，体系真空度低，放气量大，需求前级泵的抽气才能大，通常选用多个泵并联的方式增大体系的抽气量。而当体系真空度不断升高时，体系的放气量也随之削减，为了下降蒸汽耗量，节省能源，需封闭前级并联泵中的若干只。
主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。
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