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预防维修有两种具体模式，一是定期预防维修，就是按照真空设备的耗损周期计划安排的停机检修；二是状态维修，就是对设备状态进行监测，发现故障隐患或者潜在故障，及时安排适时维修，将故障消灭在萌芽状态。
预防维修的另外一种形式是机会维修。即利用生产的淡季、假日、周末或者上下游停机检修的机会进行的预防性维修。维修的“机会”可以是适当延长检修周期，也可以是适当的将检修周期缩短，经过论证，这种延长或者缩短是不会对设备造成重大损坏的。这样的预防维修也称为机会维修。无论是采取何种预防维修方式，都是在设备故障停机前的处理，目的是避免故障的发生。
真空泵的维护：
1.经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。
2.真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
3.检查油的位置。
4.经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油。
5.真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
6.换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。
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