扫描电子显微镜知识介绍

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来源：奥达科学有限公司 2023年12月05日 15:07

　　扫描电子显微镜的适用范围：

　　1、生物学：种子、花粉；

　　2、医学：血球、病毒；

　　3、动物学：大肠、绒毛、细胞、纤维；

　　4、材料：陶瓷、粉末、环氧树脂；

　　5、化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察)电子材料等。

　　扫描电子显微镜基础知识具有以下的特点：

　　(1) 可以观察直径为0 ～ 30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径)，制样方法简单。

　　(2) 场深大、三百倍于光学显微镜，适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

　　(3) 放大倍数变化范围大，一般为 15 ～ 200000 倍，对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。

　　(4) 具有相当高的分辨率，一般为 3.5 ～ 6nm。

　　(5)可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量，如通过调制可改善图像反差的宽容度，使图像各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图像选择器，可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同形式的图像。

　　(6) 可进行多种功能的分析。与 X射线谱仪配接，可在观察形貌的同时进行微区成分分析;配有光学显微镜和单色仪等附件时，可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。

　　(7) 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验，观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。

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