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F20膜厚测量系统工作原理分析

来源:秋山科技(东莞)有限公司   2023年11月24日 18:01  

F20膜厚测量系统工作原理分析

这是一种行业标准、低成本、多功能桌面涂层厚度测量系统,已安装在全球 5,000 多个装置中。它可用于广泛的应用,从研究和开发到制造现场的在线测量。
F20基于光学干涉法,可以在约1秒内轻松测量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此也可以从PLC或主机进行控制。

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当入射光穿透不同物质的界面时将会有部份的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生振荡的现象。从光谱的震荡频率,愈多的震荡代表较大的厚度。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也也能同时测量。

主要特点

  • 兼容多种薄膜厚度(1nm 至 250μm)

  • 兼容宽波长范围(190nm至1700nm)

  • 强大的膜厚分析

  • 光学常数分析(折射率/消光系数)

  • 紧凑型外壳

  • 支持在线测量

主要用途

平板单元间隙、聚酰亚胺、ITO、AR膜、
各种光学膜等
半导体抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光学镀膜防反射膜、硬涂层等
薄膜太阳能电池CdTe、CIGS、非晶硅等

砷化铝镓(AlGaAs)、磷化镓(GaP)等
医疗保健钝化、药物涂层等















基本应用:

基本上所有光滑的、半透明或低吸收系数薄膜都可以测量。这包括几乎所有的电介质与半导体材料,例如:

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