黑光规格
全自动UV照射机
FBUV-系列
不同尺寸的工件可以使用转盘进行均匀照射,并允许一次性转换!
概述
黑光规格的全自动UV照射机是自动取出盒式供给的晶圆框、进行
UV照射、保管的装置。切割后,紫外线照射会降低胶带的粘合强度,使其更容易拾取。
兼容 8 英寸和 12 英寸晶圆框架,可自动更换设置。
特征
盒式装置可实现全自动照射。
旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。
多种UV照射条件(时间设定或累积光强度设定)
在触摸屏上实时显示紫外线照度。
由于黑光规格,功耗较低。
兼容8英寸/12英寸磁带。(可以通过触摸面板自动完成设置更改)
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