高压汞规格
全自动UV照射机
FHUV-系列
“紧凑型”和“高输出”高压汞灯规格
概述
高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
装入工件后,按下启动按钮,机器将全自动将工件从料库中取出,并用紫外灯照射,并存储,直到料库中的工件全部完成。
根据目标工作,您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。
特征
紧凑的机身
可以进行 10 种配方设置(速度根据设置而变化)
可使用触摸面板以 4 种方式设置功率
显示累积照射量和紫外线照射强度(仅照射期间)
可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯
配备自动设置变更功能,可自动切换至不同尺寸
不仅可以照射切割框,还可以照射握持环。
具备判断UV照射是否完成的功能。
目的
可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。
规格
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尺寸 | 宽1300×深1400×高1350(毫米) | |
---|---|---|
重量 | 约400公斤 | |
驾驶空气 | 0.4Mpa以上 | |
紫外线照度 | 200mW/cm²以上 | |
氮气 | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
电源 | 交流三相200V 50/60Hz 100A |
*尺寸适用于 8 英寸类型。
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