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okksg紫外线照射机FHUV-系列特征?

来源:深圳九州工业品有限公司   2023年11月21日 09:50  

高压汞规格
全自动UV照射机

FHUV-系列
“紧凑型”和“高输出”高压汞灯规格

概述

高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。

装入工件后,按下启动按钮,机器将全自动将工件从料库中取出,并用紫外灯照射,并存储,直到料库中的工件全部完成。
根据目标工作,您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。

特征

  • 紧凑的机身

  • 可以进行 10 种配方设置(速度根据设置而变化)

  • 可使用触摸面板以 4 种方式设置功率

  • 显示累积照射量和紫外线照射强度(仅照射期间)

  • 可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯

  • 配备自动设置变更功能,可自动切换至不同尺寸

  • 不仅可以照射切割框,还可以照射握持环。

  • 具备判断UV照射是否完成的功能。

目的

可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。

规格

尺寸宽1300×深1400×高1350(毫米)
重量约400公斤
驾驶空气0.4Mpa以上
紫外线照度200mW/cm²以上
氮气0.2Mpa以上 100L/min以上
电源交流三相200V 50/60Hz 100A

*尺寸适用于 8 英寸类型。


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