导读

近年来，随着我国材料、能源、微电子等领域的迅猛发展，表面科学已成为活跃的研究领域之一。X射线光电子能谱（XPS）技术作为一种常见的表面分析技术，在鉴定材料表面的化学性质与组成方面具备独特的优势。举个例子，金属表面通常都存在氧化膜，氧化膜的厚度与分布，随氧化时间与环境而不同，探明氧化膜的情况对了解金属表面状态至关重要。XPS深度剖析功能可以获得样品更深层次的信息，使用户可以对样品有更全面的了解。

岛津ESCApe软件可以很方便地对深度剖析数据进行分析，得到元素和化学态随深度的分布情况。今天，我们以案例的形式，介绍一个Ta2O5薄膜样品（在金属Ta表面有一定厚度的氧化膜），通过单氩离子进行15×20 s的刻蚀（单次刻蚀时间20 s，总刻蚀次数15次），如何通过一键模板套用，深度剖析分析元素随深度的变化，如何进行批量分析数据处理，一起来看看分析过程吧！（文末附完整操作视频哦~）

方法详情

批量荷电校正

批量添加本底

批量拟合

定量计算

数据导出

下面视频记录了本次案例的完整操作过程，欢迎观看！

本文内容非商业广告，仅供专业人士参考。