阴极发光设备（SEM-CL）在光电与薄膜电池材料的针孔检测方面的应用

对于光伏(PV)和薄膜电池(TFB)来说，要在成本上与化石燃料和传统电池竞争，高制造成品率至关重要。CdTe/CdS和CdS/CIGS光伏器件的CdS层以及tbs的LiPON层的针孔导致良率损失和性能降低。扫描电镜（SEM）平面视图分析没有深度分辨率来确定孔是否穿透一层。

Attolight CL技术的优势在于:

• 通过对单元过程进行针孔检测，缩短了开发时间;可以比较工艺变量和沉积方法对针孔形成的影响。

• 在针孔检测过程中评估缺陷密度和成分梯度。

• 快速自动绘图:65秒内完成25 μm × 25 μm面积的绘图。

CL通过检测来自底层的光来检测针孔，如下图所示:

下面的SEM图像和CL图显示了该技术在SnO2化学镀液沉积的CdS上的针孔的实际应用。发射图谱如下：

• CdS(扫描电镜中的光区):绿色(带隙)和红色(中隙缺陷状态)。

• 针孔(SEM中的黑色区域):蓝色(中间隙缺陷状态)来自孔底部的SnO2。

圆对应于单个CL点。圆直径=电子相互作用体积(100 nm@5keV)。