激光共聚焦显微镜高度测量原理

来源：南京智联光学科技有限公司 2023年10月18日 15:19

激光共聚焦显微镜（LaserScanningConfocalMicroscope，简称LSCM）是一种高分辨率的显微镜技术，可以实现对样品表面的三维形貌进行测量。其高度测量原理主要基于激光共聚焦原理和扫描探测技术。

激光共聚焦原理是指通过将激光束聚焦到样品表面上的一个点，然后通过探测器接收反射回来的光信号。在聚焦点附近，只有来自该点的光信号能够通过一个小孔进入探测器，其他位置的光信号会被屏蔽掉。这样可以消除样品表面其他位置的散射光信号，提高图像的清晰度和对比度。

在高度测量中，激光束被聚焦到样品表面上的一个点，然后通过探测器接收反射回来的光信号。当样品表面存在高度差时，反射回来的光信号会发生相位差，这个相位差可以用来计算样品表面的高度差。

为了实现高度测量，LSCM通常采用扫描探测技术。通过控制激光束在样品表面上进行扫描，可以获取到不同位置的光信号。通过对这些光信号进行处理和分析，可以得到样品表面的三维形貌信息。

总结起来，激光共聚焦显微镜的高度测量原理是通过激光共聚焦原理和扫描探测技术，利用反射回来的光信号的相位差来计算样品表面的高度差。这种原理可以实现对样品表面的高分辨率三维形貌测量。

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