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x射线管产生入射x射线(一次x射线)，激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次x射线，并且不同的元素所放射出的二次x射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次x射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
X射线荧光光谱仪是由物质中的组成元素产生的特征辐射，通过侧里和分析样品产生的的产生与特性当用高能电子束照射样品时，人射高能电子被样品中的电子减速，这种带电拉子的负的加速度会产生宽带的连续X射线谱，简称为连续潜或韧致辐射。另一方面，化学元素受到高能光子或粒子的照射，如内层电子被激发，则当外层电子跃迁时，就会放射出特征X射线。
用途：具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析f(9)～u(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。
X射线荧光光谱仪的测试步骤：
(1)选择分析方法与制样方法。分析方法一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等，制样方法一般有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。
(2)将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。
(3)样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。
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