一、工作原理：按照工作原理可分为气体转移式真空泵和气体捕获式真空泵两种。气体转移式真空泵是一种通过将气体不断的吸入和排出以此来达到抽真空目的的真空泵，使用该原理的真空泵油变容真空泵和动量传输真空泵两种。气体捕获式真空泵是通过将气体分子吸附在泵的内表面从而使密封容器内部的气体分子减少从而达到抽真空的目的真空泵，其中代表性的应用有螺杆式真空泵、分子真空泵、旋片式真空泵、喷射真空泵和活塞式真空泵等。

二、真空度：除了粗真空和低真空可以使用一种真空泵完成，高真空以上的领域必须要两种以上的真空泵机组才可以完成。我们按照真空度来进行分类可大致分为14大类，分别为：

1、高/超真空：低温泵、分子泵、扩散泵、钛升华泵、溅射离子泵。

2、中真空：干泵、罗茨泵、油增压泵、双级旋片泵、水蒸汽喷射泵。

3、粗/低真空：液环泵、滑阀泵、单级旋片泵、往复式真空泵。

三、结构特点：根据真空泵的结构特点可分为机械式真空泵和射流式真空泵两种，通过机械的运动来不断改变真空泵的吸气容腔容积从而获得真空的真空泵，我们称之为机械式真空泵。机械式真空泵有旋片泵、螺杆泵、罗茨泵、液环泵、往复式真空泵和旋转式机械泵。喷射式真空泵则是利用流体传递能量和质量，是由喷嘴、吸入室和扩压管三部分组成，本身并没有运动部件。它的工作原理是利用高压的工作流体从喷嘴高速喷出，经过能量转换后在喷嘴的出口形成真空的区域，从而将被抽取的介质吸出来，两种介质会在扩压管内进行能量交换然后排出，以此来达到抽真空的目的。采用射流式的真空泵有空气喷射泵、水蒸气喷射泵和其他类型的扩散泵等。