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扫描电镜加热原位系统将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的环境并且可以对实验样品原位加热。可对样品进行可控温度的加热，电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大拓展了透射电镜的功能和应用范围。使用同一个SEM样品台既可以实现不同的原位解决方案电学、加热等不同应用。
本公司提供的CHIP-NOVA扫描电镜加热原位系统有优异的热学性能：
1.高精密红外测温校正，微米级高分辨热场测量及校准，确保温度的准确性。
2.四电极的超高频控温方式，排除导线和接触电阻的影响，测量温度和电学参数更精确。
3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料)，既是热导材料又是热敏材料，其电阻与温度有良好的线性关系，加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀，稳定状态下温度波动±1℃。
4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式，高频反馈控制消除误差，控温精度±1℃。
5.多级复合加热MEMS芯片设计，控制加热过程热扩散，大大抑制升温过程的热漂移，确保实验的高效观察。
6.加热丝外部由氮化硅包覆，不与样品发生反应，确保实验的准确性。
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