离子探针仪器的分类

通常把离子束斑大于10μm 以上的，称为非成像宏观探针（nonimaging macroprobes） ；把离子束斑小于10nm 的称为离子微探针（microprobes）。

离子探针仪器的四个分类和应用：就成像技术而言，可分为扫描型离子微探针（scanning ion microprobes） 和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小，（φ≤1μm），并在样品上扫描，类似于扫描电镜（SEM）和扫描俄歇微探针（SAM），也叫离子微探针。中国卖仪器网后者是一次离子束斑较大（φ～300μm ） ，并静止不动，而二次离子光学（secondary ion optics）扫描成像，也叫离子显微镜（ion microscope），空间分辨率～0.2μm 。

在离子探针迅速发展中，要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说，可以分为以下几类。

1.非成像离子探针
2.离子显微镜
3.扫描离子微探针
4.图像解剖离子探针（image dissecting ionprobes）

离子探针仪器的应用
像离子探针适用于许多不同类型的样品。下面是给出一些代表性例子。

一、金属样品
这是理想的样品，不会荷电。提出首先可用SEM 直接找出感兴趣的分析区。使用剖面样品和使用扫描离子探针，沿剖面线扫描的方法是一种有用的技术，可作为动态SIMS 的补充。可用于金属氧化物成长、腐蚀、焊接、应力失效断裂和晶粒间界偏析等方面的研究。

二、半导体器件
检测掺杂分布剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展，扫描离子探针分析越来越重要。

三、非导体样品
高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决荷电问题，火焰光度计已开发出了微聚焦扫描原子束，可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当横向分辨率需优于5μm 时，上述源就不能满足要求了。此时仍需用聚焦微离子束。这方面己成功地得到了家蝇复眼的离子像。应用的另一个领域是复合材料，尤其是研究这类材料破裂界面的情况。