真空度显示：显示腔体内部的真空度数值

运行程序段：分为3个步骤，绿色表示运行状态

①真空泵启动②射频电源打开③放气

进气流量显示：通过调节A、B流量调节阀调节气体进入腔体的大小，在两个图标显示，上部显示为A流量，下部显示为B流量

时间：显示设备清洗时间

功率:显示当前设备清洗是清洗功率

设备温度：显示当前射频电源设备温度

放气状态：显示当前放气阀开启或关闭状态

清洗时间：点击可设置设备运行清洗时间

清洗功率：点击可设置设备运行清洗功率

开始运行：点击可切换设备开始运行或者停止运行

参数设置：非专业人士请勿调节，如有需要请联系厂家人员

射频电源开关：按下产品前面板左边的电源按钮  此时产品通电启动 液晶显示屏点亮， 显示启动界面 2 秒，然后进入相应工作状态显示界面。在按一下则关闭射频电源。

功率调节旋钮：射频功率调节，通过旋转前面板上的功率设置旋钮来增加或减小功率水平（顺时针 旋转为增加功率，逆时针旋转为减小功率）。

射频输出的开启和关闭：按下前面板上的射频输出 开【蓝色按钮】 打开射频输出，同时定时器开始倒计时； 按下射频输出 关【红色按钮】 关闭射频输出。

调节功率设置旋钮：显示内容“Wf”前的数值会发生相应的变化，此 时的数值为功率设定值；当按下射频输出 开【蓝色按钮】开启射频时，“RF OFF”将变成“Wr”，Wf 前的数值也会从 0 上升，当然 Wr 前的数值也会根据负载情况发生相应的变化,如果射频电源的后端负载为 50 欧时，Wr 前的数值将为 0，即此时射频输出无反射功率；否则，Wr 前数值将根据负载情况显示相应的反射功率值。

手动匹配器：通过调节前面板上的【MATCH】控制区的【TUNE】和【LOAD】旋钮实现匹配器的手 动匹配，反射功率减低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反射】指示                      【手动匹配】指示

 手动调节【TUNE】和【LOAD】旋钮 调节【TUNE】旋钮，如果 Wf 数值增加，证明调节的百分比方向正确，否则往相反的方向调节；到 Wf 数值到达设置最大值，通过微调两个旋钮，实现 Wr 数值减低； b．调节【LOAD】旋钮的方法同理。（通过两个旋钮调节观察Wf值根据旋钮调节变大  Wr值根据旋钮调节变小）

2、软件语言选择

按下前面板上的【MENU】键进入主菜单中，通过前面板上的【UP】或【DOWN】键

选中主菜单中的第 1 项“Lang./语言”并按下【MENU】键确认，进入子菜单选中“English”

或“中文”并按【MENU】键确认即可切换相应的语言