新型薄膜真空计介绍

薄膜真空计是迄今为止得到*的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，

其原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。

而我们常用的真空计往往是电阻计、热偶计居多，是一种间接测量的真空计，是一种热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%），尤其是在粗低真空段，误差甚至大到令人无法置信。但是由于它制造容易、价格低廉，在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差很大，就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。

现在真空应用技术的发展，真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，因为这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。

许多新设备、新工艺、新产品的开发无法得到预想的技术指标，很可能就是真空测控仪表选型不当、测量控制精度无法达到要求所致。

当然，薄膜真空计也不是*的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往会报废，小量程的2\3会坏。

所以，我们需要有一种具有国产价格、进口品质的薄膜真空计。

国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的相比有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空压力测量技术、二是智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路，将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；

现在，国内学习和引进*技术，根据我们真空设备配套测控仪表的特点，研制出的陶瓷薄膜真空计，其测量精度和稳定性已经*可以与进口产品相媲美了。

当然，真正要做好高精度的薄膜真空计zui重要的、也是zui为关键的一步是：计量校准和规范的量值传递；

经过多年的艰苦奋斗，我国已经建立了*的、科学的、系统的计量体系（CNAS）;真空度计量属于压力计量；要保证产品的高精度，还必须严格遵循CNAS的规范要求、建立相应的企业标准、适时量值传递检定等等工作，这方面国内企业往往容易忽略。。。。。。

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