东京精密E-TS-1070B 精度演算误差

东京精密E-TS-1070B 精度演算误差方式介绍

１．在G1・G2接触子间放入微動台。

２．先移动G1接触子、控制部指示値为行程量的一半时，（－210～－220μｍ）固定接触子。

３．然后移动G2接触子、控制部指示値为０μｍ时固定接触子。

４．微動台朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、确认控制部 指示値。

５．微動台至进给原位置（零位置）、确认控制部 指示値为0μm〔注１〕。

６．微動台在进给方向进给100μm(＋100μm)、确认控制部指示値。

 ７．微動台回到原位置（零位置）、确认控制部指示値为0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示値与0μm→＋100μm的指示値不超过1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的指示値与0μm→＋100μm的指示値的差超过1.5μm时需再调整、重复[１．]～[８．]的作业。不超过时进行接下来的检查。

〔注１〕 微動台在原位置（零位置）时、控制部指示値不为0μm时、需调整接触子重复〔４．〕～〔６．〕的作业。

　※ 为减少演算误差需进行绞合线单体感度测量（別紙）。