真空镀膜机常见的几种故障处理方法

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来源：北京佳源伟业科技有限公司 2023年03月30日 21:13

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

常见的几种故障处理方法：

一、检测不到掩膜夹具翻转信号：

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。

二、掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合时机

2、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活可靠

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

三、在同一掩膜夹具频率散差大:

1. 检查晶片本身是否散差大

2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板

3．检查一下挡板在开、关时是否全遮挡住钼舟

4．检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟

5．检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟

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