激光干涉仪用于重复定位精度测量

1、重复定位精度测量原理
     重复定位精度测量主要用到干涉仪的线性测量，即对待测平移装置的定位进行多次测量，比较得到同一位移指令下的定位精度。
     线性度测量是激光干涉仪的基本测量，原理如图所示。将一个角锥反射镜安装到分光镜上，组成线性干涉镜，它形成干涉仪的参考光路。另一个角锥反射镜安装到待测目标上，它与干涉镜之间形成干涉仪的测量光路。随着平移装置多次位移，每移动设定位移量之后，由干涉仪记录测量光路改变量，即平移装置的位移量。
 

2、测量数据处理
     重复定位精度包括平移装置的单点定位精度和整个位移范围内的不同位置点上的定位精度两种。前者可以通过调整装置使多次移动到同一标称位置，并暂停几秒，记录位移量；测量其位移偏差量；后者择在整个位移范围不同位置点上测量实际位移与标称值的偏差，使待测位移装置移动到目标位置点，并暂定进行测量。将多次定位测量数据进行分析处理，得到装置的重复定位精度。
3、重复定位精度测量用组件
     重复定位精度测量用到的激光干涉仪组件：
     激光干涉仪测头、线性测量光学镜组、光路折转量光学镜组、环境补偿单元、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。
4、重复定位精度测量应用
数控机床/坐标测量机导轨的重复定位精度测量
机床X、Y轴平移台的重复定位精度测量
高精度机械元件的校准
线性电机或压电陶瓷平移台的重复定位精度测量