适用于大学基础实验的立式实验反应釜设备介绍
TVF-110
立式实验反应釜 最高1200°C
低成本 低要求配置(手动控制) 可用作管式炉、扩散炉和热 CVD
罐式加热器 | 最高1200°C |
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适用于从小样品到3英寸晶圆的小基板 基座 手动升降式立式实验炉用于基础实验的低成本立式炉 非常适合大学和企业实验室的基础实验。
特征
用户友好,易于手动操作
配置简单,是基本实验室应用的理想选择
可以以低成本和低的必要规格提出设备
我们可以根据要求定制。
设备配置
炉体(石英部件,如基座、舟、缓冲器等,包括垂直升降机构)
热电偶
温度控制单元
支架
原理图规格
【电炉部分】 | 规范 |
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最高工作温度 | MAX1200°C (*加热器最高温度) 电路板温度 950°C |
加热器 | 罐式加热器1区式1.5KW |
炉体 | 陶瓷成型品 Φ290 x 300L(分成两半) |
箱 | 带开合功能的铝制外壳 |
热电偶 | 2对K型护套热电偶,用于控制和超温检测 |
温度测量热电偶 | Φ0.65mm K带线型绝缘管1500L |
温度控制 | PID温度控制器晶闸管控制 |
【炉芯管及石英夹具部】 | 规范 |
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炉芯管 | Φ100 x Φ95 x 470L |
缓冲区 | 234H x Φ86 屏蔽板 x 2 层 |
基座 | Φ86 x t5mm (带上下杆) x 2-3级 |
热电偶保护管 | Φ8 x Φ6 x 660L mm |
【基座底座法兰上下升降部分】 | 规范 |
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驱动系统 | 手动(旋转手柄) |
中风 | MAX300mm (基座) MAX500mm (基座法兰), 带停止位置刻度,带可选垂直停止位置钳位钳位器 |
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