迷你台棱镜半自动超高温实验反应釜的特点

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来源：深圳市秋山贸易有限公司 2023年03月24日 09:35

迷你台棱镜半自动超高温实验反应釜的特点

半自动超高温实验反应釜最高2000°C

迷你工作台增加了PLC自动序列以提高
可操作性[迷你工作台棱镜（迷你工作台棱镜）]

真空置换炉	最高2000°C
还原气氛炉	最高2000°C

PLC半自动控制自动顺序控制（手动调节气体流量→针阀）
半自动控制型电炉操作的自动顺序控制台式型号 “抽真空”和“排气
” Mini-BENCH监测冷却水异常、腔室温度异常和超压异常。由SUS坚固的水冷室制成，即使在最高温度下连续使用也可以安全使用。

	真空和气体置换炉（碳炉）	还原气氛炉（金属炉）
最高工作温度	最高2000°C
加热器	石墨或C/C复合加热器	钨加热器
绝缘	石墨毡材料	钨屏蔽层，氧化铝绝缘
真空室	SUS304水冷夹套结构，顶部装载，线性驱动可打开（Φ3，仅4英寸）
使用氛围	在真空或惰性气体（Ar、N2）中	在真空中，惰性气体（Ar，N2），还原气体（H2等）
有效加热范围	Φ1“~ Φ4”（用于晶圆片进料烧制的平面加热器），或 -Φ80 x 深度最大100 （H） mm （圆柱形加热器）
极限真空度	1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉）
真空泵	旋转泵（可选：干泵、高真空泵）
热电偶	包括C型热电偶
联锁	腔室表面温度、加热器超温、冷却水减少、腔室打开和关闭
公用设施和冷却水	加热器额定值最大 6KVA（* 取决于加热范围尺寸），冷却水 3 升/分钟 0.4Mpa

* 根据加热范围的尺寸，通过组合平面加热器和圆柱形加热器，可以在整个坩埚中均匀加热。

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