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半导体行业真空室内被处理物体的温度如何检测？
用于测量真空室内被处理物体的温度。
通过窗口测量真空层或容器内的物体。
选型要点
Japan Sensor 产品提供范围广泛的测量距离和目标尺寸。
我们拥有适用于各种应用的产品阵容，例如最大 0.1ms 的高速响应和 0°C 至 1350°C 和 90°C 至 2000°C 等宽范围测量。
所选机型
在恶劣环境和狭小空间也能自由使用的1ms光纤型
半阶型
光纤式辐射温度计FTKX系列
测量温度范围：100°C至2000°C
纤维型（耐热磁场）
高温
用于通过石英
0.1ms/1ms快速响应
用于金属
1ms 辐射温度计，规格可根据测量对象改变
无纤维辐射温度计 FLHX 系列
测量温度范围：90°C 至 2000°C
高温
用于通过石英
0.1ms/1ms快速响应
用于金属
金属的高速测温
金属用辐射温度计
TMHX-TME0050(H)系列测量温度范围：50°C至600°C
用于金属
低温
用于通过石英
金属的高速测温
金属用辐射温度计
TMHX-TME0050(E)系列
小头型测量温度范围：50°C至600°C
用于金属
低温
用于通过石英
甚至可以透过石英玻璃！
穿透式石英辐射温度计
TMHX-CQE0500(H)系列
小点型测量温度范围：50°C 至 500°C
用于通过石英
低温
甚至可以透过石英玻璃！
穿透式石英辐射温度计
TMHX-CQE0500(E)系列
小头型测量温度范围：50°C 至 500°C
用于通过石英
低温
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