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高低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。
高低温真空探针台，是一款为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和高低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。
高低温真空探针台在不同测试环境、不同温度条件下可对微结构半导体器件、微电子器件及材料进行电学特性表征测试。
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
产品优点：
防辐射屏和热沉设计
降温速度快，常温降至 77k<25mins，提高测试效率
液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共 同控制温度
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